供应高精度激光干涉仪测量设备SJ6000

• 规格：613×460×230mm
• 品牌：中图仪器
• 用途：运动导轨精度的诊断校准

SJ6000高精度激光干涉仪测量具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①SJ6000高精度激光干涉仪测量使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

SJ6000高精度激光干涉仪测量除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。

深圳市中图仪器股份有限公司销售中图仪器 613×460×230mm，针对中图仪器 613×460×230mm客户提供相关咨询服务，需要了解中图仪器 613×460×230mm型号尺寸、重量、价格、安装、维护等资料请与我们联系。

 

相关产品

 

 

公司简介

 

其它地区 加工精度测量仪 类似信息：